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新型无掩模光刻系统 ，，，，，，型号: PM-ATE500 ，，，，，，和 新型涂胶显影系统 ，，，，，，型号:?5000A ，，，，，，已于2020年9月被客户预验收并装运到客户。。。。。。。。

2020.09.15
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该系统能够在500毫米X 500毫米基板上以500纳米区分率和256灰度建设3D图案。。。。。。。。谢谢4PICO和SimaxAT的所有团队成员。。。。。。。。
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