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地点：上海市松江区泗砖南路255弄130号
产品中心
product center
系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式；；； ；；；；
系统瞄准精度最高小于250纳米，，，，，，，，线宽匀称性小于50纳米；；； ；；；；
系统最大支持6英寸基版，，，，，，，，200毫米/秒扫描速率，，，，，，，，150x150毫米曝光面积；；； ；；；；
系统接纳全关闭结构设计，，，，，，，，必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内，，，，，，，，便于快速装置；；； ；；；；
辖档同接到空气温度调理器机组最先供应空调空气时，，，，，，，，内置堆式过滤器将爆发清洁的交织气流；；； ；；；；
系统运动平台由机械缓振系统支持，，，，，，，，它将过滤掉绝大大都的噪音振动，，，，，，，，以确保事情时的振动最小。。。。。。。。
在芯片上制造微纳图形化结构，，，，，，，，用于提横跨光效率有着主要作用。。。。。。。。
半导体工艺为获取准确的结构特征，，，，，，，，需要严酷管控线宽的宽高比，，，，，，，，而高区分率无掩模直写系统可以对格栅举行高精度曝光。。。。。。。。
4095级灰度，，，，，，，，全息设计库的开发功效将用户最新设计理念成为现实。。。。。。。。
系统可以通过改变激光的能量输出，，，，，，，，举行三维加工菲涅尔透镜及其阵列。。。。。。。。
芯片制造通常需要很是厚的光阻层，，，，，，，，而接纳低区分率举行矢量誊写，，，，，，，，可以确保电线路槽的平整。。。。。。。。
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