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系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式；；；；；；；

系统瞄准精度最高小于250纳米，，，，，，，线宽匀称性小于50纳米；；；；；；；

系统最大支持9英寸基版，，，，，，，400毫米/秒扫描速率，，，，，，，350x350毫米曝光面积；；；；；；；

系统接纳全关闭结构设计，，，，，，，必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内，，，，，，，便于快速装置；；；；；；；

辖档同接到空气温度调理器机组最先供应空调空气时，，，，，，，内置堆式过滤器将爆发清洁的交织气流；；；；；；；

系统运动平台由机械缓振系统支持，，，，，，，它将过滤掉绝大大都的噪音振动，，，，，，，以确保事情时的振动最小。。。。。。。