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地点:上海市松江区泗砖南路255弄130号

使用GLV (Grating Light Valve)手艺,,,,,,可实现高达1000个单位像素的激光束高速并行直写;;;;;;
选择关闭灰度写入功效,,,,,,直写相同曝光面积,,,,,,其直写速率将提升2倍;;;;;;
构建自力设计库,,,,,,可完成最高自由度的3D光刻,,,,,,并支持标准图像源、个性化的3D设计源;;;;;;
可定制更大幅面的无掩模激光直写系统解决计划;;;;;;
灰度光刻0.5米x0.5米的面积只需要28个小时@0.5微米精度;;;;;;





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