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地点:上海市松江区泗砖南路255弄130号

使用GLV (Grating Light Valve)手艺,,,,,,,,可实现高达1000个单位像素的激光束高速并行直写;;;;;;
构建自力设计库,,,,,,,,可完成最高自由度的3D光刻,,,,,,,,并支持标准图像源、个性化的3D设计源;;;;;;
支持最大 0.8米 x 0.8米的激光直写面积,,,,,,,,低规格条件下,,,,,,,,整幅面激光直写只需48个小时;;;;;;
选择关闭灰度写入功效,,,,,,,,直写相同曝光面积,,,,,,,,其直写速率将提升2倍;;;;;;
可定制更大幅面的无掩模激光直写系统解决计划;;;;;;





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